?、匐p壓法、雙溫法是基于熱力學P、V、T平衡原理，平衡時間較長，分流法是基于優良濕氣和優良干空氣的混合。由于采用了現代測控手段，這些設備可以做得相當精蜜，卻因設備復雜，昂貴，運作費時費工，主要作為標準計量之用，其測量精度可達±2%RH以上。
?、陟o態法中的飽和鹽法，是濕度測量中常見的方法，簡單易行。但飽和鹽法對液、氣兩相的平衡要求很嚴，對環境溫度的穩定要求較高。用起來要求等很長時間去平衡，低濕點要求更長。特別在室內濕度和瓶內濕度差值較大時，每次開啟都需要平衡6~8小時。
③露點法是測量濕空氣達到飽和時的溫度，是熱力學的直接結果，準確度高，測量范圍寬。計量用的精蜜點儀準確度可達±0.2℃甚至更高。但用現代光-電原理的冷鏡式露點儀OPT401價格昂貴，常和標準濕度發生器HDT3601配套使用。
